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Horno rtp estándar de 1100ºc ul con tubo de cuarzo id de 4 "y medidor de vacío digital

  • Model Number:

    TMAX-1200X-RTP-4
  • Delivery Time:

    14 days
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DESCRIPTION

Horno rtp estándar de 1100ºc ul con tubo de cuarzo id. De 4 "y indicador de vacío digital



tmax-1200x-rtp-4 es un horno de tubo de procesamiento térmico compacto y rápido con un tubo de cuarzo y bridas de vacío de 4 "i.d. Está diseñado para el recocido de obleas semiconductoras o células solares con diámetros de hasta 3". tmax-1200x-4-rtp se calienta con 8 unidades de luz halógena de 1kw con un máx. La velocidad de calentamiento de 50ºc / segundo. El controlador de temperatura de precisión de 30 segmentos con una precisión de +/- 1ºc está integrado en el horno para permitir el calentamiento, la vivienda y el enfriamiento en varios pasos. Se incluyen el puerto rs485 y el software de control para que sea posible monitorear el perfil de temperatura a través de la PC mientras se ejecuta simultáneamente el horno. Este horno también puede ser modificado en una horno rte, css o hpcvd (ver nota de aplicación a continuación)

presupuesto

estructura del horno

  • La carcasa de acero de doble capa con enfriamiento por aire mantiene la temperatura de la superficie del horno por debajo de 60 ° C.
  • Aislamiento de alúmina fibrosa de alta pureza para un máximo ahorro de energía.
  • cubierta dividida con protección de bloqueo , corte la energía si la tapa se abre durante el proceso de calentamiento del horno.

entrada de alimentación

208-240 ac, 50/60 hz monofásico, 9 kw máx. (Se requiere un disyuntor de 60a)


elementos de calentamiento

  • Tubo de luz halógena de 8 piezas 1kw, (diámetro = 10 mm, l = 300 mm, longitud calentada = 200 mm)
  • Vida laboral estándar: 2000 hrs. (depende de la velocidad de calentamiento)
  • El tubo de luz halógena es consumible. por favor haga clic en la imagen a la izquierda para ordenar una

zona de calentamiento

12 "longitud con 4" zona de temperatura constante dentro de +/- 5ºc uniformidad

temperatura de trabajo

  • 1100ºc máx. para & lt; 10 minutos
  • 1000ºc max. para & lt; 20 minutos (nota: si se está ejecutando un tiempo mayor, la caja del horno & gt; 100oc, debe usar la caja de enfriamiento del ventilador desde el exterior)
  • 800ºc máx. para & lt; 120 minutos
  • 600ºc máx. para continuo

max. velocidad de calentamiento

50ºc / seg

velocidad de enfriamiento

  • max. Enfriamiento: 60ºc / min (bajo vacío: 200 mtorr), 117ºc / min (bajo presión atmosférica)
  • menor enfriamiento: 10 ºc / minuto

par termoeléctrico

tipo k, la cabeza del termopar toca el soporte de la muestra de nitruro de aluminio desde abajo

controlador de temperatura

  • Se incluye controlador de temperatura.
  • Control proporcional – integral – derivativo (control pid) y función de autoajuste
  • 30 segmentos programados con pasos de rampa, enfriamiento y vivienda.
  • Alarma de sobrecalentamiento y alarma de falla de termopar incorporadas
  • +/- 1 º c de precisión de control de temperatura
  • puerto de comunicación por defecto de db9 pc
  • se certificó

controlador de temperatura (opcional)

  • El kit de software de control de temperatura mts02-y (para los controladores de la serie yd518p) + paquete de computadora portátil de 15 "está disponible en la barra de opciones.
  • puede actualizar el controlador de temperatura a la controlador de temperatura eurotherm 3504 que es totalmente compatible con labview. este paquete incluye un programador eurotherm 3504, un cable de comunicación (rs485 - usb) y un CD de software. haga clic en la siguiente imagen para ver la especificación completa del controlador de temperatura eurotherm 3504.

tubo de cuarzo y amp; portamuestras

  • tamaño del tubo cuarto 4.33 "o.d x 4.05" i.d x 16.2 "de largo . uno Portamuestras de diámetro 3 " Para el recocido de muestras, se incluyen hasta 3 "de diámetro. Aln tiene una conductividad térmica muy alta que proporciona la mejor uniformidad de temperatura en el área de la muestra.
  • Opcional: 3 '' o.d sustrato de grafito grueso Se puede utilizar como alternativa a una placa. (por favor haga clic en la foto-3 abajo para ordenar)
  • Opcional: Crisol de grafito: 87 mm od x 71 mm id x 12 mm altura con tapa está diseñado para 3 "portamuestras, también puede ser modificado en un horno rte, css o hpcvd Con un crisol de grafito recubierto con sic.
  • el portamuestras es removible de la brida para usar el horno rtp para otros propósitos.

brida de vacío

  • La brida de alto vacío kf-d25 está hecha de acero inoxidable con doble alta temperatura. Juntas tóricas de silicona, válvulas de aguja y camisa de refrigeración por agua.
  • solo requiere enfriamiento con agua en tiempos de funcionamiento prolongados a temperaturas & gt; 600 o do.
  • caudal de agua en circulación: 0,5 m 3 /hora.
  • la brida deslizable proporciona una forma más fácil de cargar, descargar las muestras y otros procesos específicos necesarios.
  • Inserción termal capaz de realizar mediciones precisas.

bomba de vacío (opcional)

  • Se recomienda la bomba de vacío eq-fyp para este horno. La presión de vacío máxima en este sistema puede ser 10 ^ -3 torr. fuelles de vacío y abrazaderas se incluyen en este paquete. Haga clic aquí para la especificación de la bomba de vacío eq-fyp.

refrigeración por agua (opcional)

  • Se requiere agua de refrigeración.
  • asegúrese de que el caudal de agua de refrigeración sea ≥ 10 l / min, temperatura del agua. & lt; 25ºc; presión & gt; 25 psi.
  • Sugerimos utilizar la serie eq-kj5000. enfriador de agua recirculante como sistema de enfriamiento (por favor, ordene por separado en productos relacionados a continuación) para ahorrar agua.
  • advertencia: el tiempo de permanencia máximo de este horno rtp debe ser inferior a 600 segundos a 1000ºc ~ 1100ºc con agua del grifo, de lo contrario, la junta tórica puede derretirse.

medidor de corriente

Se instala un medidor de flujo en el panel frontal para ajustar el flujo de gas de 16 a 160 ml / min.

indicador de vacio

vacuómetro digital con un rango de medición desde 10 -4 a 1000 torr está instalado en el horno.

presión de vacío y amp; conexión de gas

  • la presión puede alcanzar 50 mtorr usando una bomba de vacío mecánica con adaptador kf25
  • la presión puede llegar a 10 -4 Torr por bomba molecular con adaptador kf25

dimensiones

  • Brida cerrada: 760 mm (l) x 330 mm (w) x 530 mm (h) / brida abierta: 1200 mm (l) x 330 mm (w) x 530 mm (h)

Peso neto

70 kg (150 lbs)

garantía

dos años de garantía limitada del fabricante con soporte de por vida (las piezas consumibles, como los tubos de procesamiento, las juntas tóricas y las lámparas halógenas no están cubiertas por la garantía, solicite los reemplazos en los productos relacionados a continuación).

portátil, software y amp; control wifi (opcional)

  • Nuevo portátil con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita) para uso inmediato.
  • sistema de control de temperatura basado en Labview) permite al usuario editar el perfil de temperatura, administrar la receta de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para los hornos mti.
  • Un control remoto inalámbrico proporciona hasta 300 metros de rango de operación.
  • Las características anteriores están disponibles bajo petición a un costo adicional (hasta $ 1,000). Por favor contáctenos para más información.
  • Nota:
    el software solo es compatible con el controlador de temperatura yudian de mti
conformidad Por favor seleccione el certificado en la barra de opciones:
Certificado CE & amp; Listo para ul / csa: aprobación ce, listo para aprobar el certificado ul / csa
ul certircate - ul apprval (ul 61010), a un costo adicional
Opcional
  • puede combinar el horno rtp con una estación de alto vacío o sistema de distribución de gas como horno de vacío o sistema de cvd. haga clic en las imágenes de abajo para ver los detalles
  • para lograr una velocidad de enfriamiento rápida (& lt; 10ºc / segundo), puede elegir un horno rtp con riel deslizante. por favor haga clic en la imagen de abajo para ver los detalles.
  • Usted puede ordenar el módulo de control de presión.

notas de aplicación

  • Los hornos de tubo con tubos de cuarzo están diseñados para usarse bajo vacío y baja presión & lt; 0.2 bares / 3 psi / 0.02 mpa. Las presiones de vacío solo se pueden usar de manera segura hasta 1000 ° C. El caudal de los gases debe limitarse a & lt; 200 sccm (o 200ml / min) para reducir los choques térmicos al tubo.
  • atención: se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión a menos de 3 psi para una operación segura. este horno también puede ser modificado en un horno rte, css o hpcvd con un crisol de grafito recubierto con sic (haga clic en la foto a la izquierda para obtener detalles sobre cómo configurar un procesamiento rte por bricolaje)
  • Después del cvd, el grafeno debe transferirse desde el catalizador metálico a otro sustrato para la mayoría de las aplicaciones. mediante el uso la cinta de transferencia de grafeno , el residuo puede ser bajo.

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1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar según los requisitos de clientes para encontrar la manera más conveniente.

3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte del daño por usted de forma gratuita.



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