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Horno de tubo rotatorio pecvd de zona de calentamiento de 1200c (60 mm od)

  • Model Number:

    TMAX-DSP-1200PECVD-X
  • Delivery Time:

    12 days
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DESCRIPTION

Horno de tubo rotatorio pecvd de zona de calentamiento de 1200c (60 mm od)



tmax-dsp-1200pecvd-xz s es un sistema de horno de tubo de pe-cvd pe-cvd de zona de 1200ºc que consta de una fuente de plasma de 500w rf, un horno de tubo con un medidor de flujo másico de precisión de canal integrado con tanque de mezcla de gas y una bomba de vacío sin aceite de alta calidad. dicho horno pe-cvd es una nueva herramienta para cultivar nanocables, grafeno o recubrimiento sic.

presupuesto:

poder

3.5 kw

tamaño del tubo

dia 60 (od) x 1200 mm

dimensiones del producto (mm)

1300x420x1200

velocidad de rotación del tubo

Variable de 0 - 25 rpm.

ángulo de inclinación del horno

-10 - 30 °

caracteristicas

1. dos temp. programable de la precisión. Controladores con 30 segmentos.

2. Dos zonas de calefacción controladas por separado:

    • 200 mm de longitud para cada zona de calentamiento.
    • 400mm total en longitud de calentamiento
    • Área de calentamiento de temperatura central constante de 250 mm si ambas zonas se calentaron a la misma temperatura

estructuras de horno

1. Horno de tubo dividido con riel deslizante

2. max 1150ºc para calentamiento continuo

3. Controladores digitales de temperatura multiprogramables de precisión con 30 segmentos.

4. potencia de entrada: entrada de 208 - 240v ca, monofásica a máx. 4kw

fuente de alimentación de plasma rf

1. Potencia de salida: 5 -500w ajustable con estabilidad de ± 1%.

2. Frecuencia rf: 13.56 mhz ± 0.005% de estabilidad.

3. Potencia de reflexión: 10w max.

4. coincidencia: automático

5. puerto de salida rf: 50 Ω, tipo n, hembra

6. ruido: & lt; 30 db.

7. Enfriamiento: Enfriamiento por aire.

8. Potencia: 208-240vac, monofásico, 50 / 60hz

manómetro anticorrosivo

1. 3.8x10 -5 a 1125 rango de medición de torr

2. Anticorrosivo, tipo gas independiente.

3. Alta precisión y reproducibilidad en la atmósfera para una detección confiable de la presión atmosférica.

4. La rápida detección atmosférica elimina el tiempo de espera y acorta el ciclo de proceso

5. fácil de intercambiar plug & amp; elemento sensor de juego

estación de bombeo al vacío y válvulas

1. La bomba de vacío seco sin aceite de alta velocidad (120 l / min) de pfeiffer, el límite de torr 10e-3 se instala dentro del carro móvil de servicio pesado

2. El adaptador kf25 y el tubo de acero inoxidable están conectados entre la bomba y la brida del tubo con una válvula de bola para que el cliente pueda conectar y listo

3. 10e-2 torr vacio se puede lograr dentro del tubo de procesamiento

caudalímetros másicos y amp; estación de mezcla de gas

se instala en un carro móvil de servicio pesado donde el horno de tubo se puede colocar en la parte superior. La pantalla táctil lcd está integrada para proporcionar un control sencillo del caudal de gas de cada canal independiente.

1. Temperatura de trabajo: 5 ~ 45 ºc.

2. max. presión: 3x10 6 Pensilvania

3. precisión: ± 1.5% fs

4. revestimiento: ± (0.5-1.5)% f.s.

5. Precisión duplicada: ± 0.2% f.s.

6. rango de control: 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm o 1,2,3,5,10slm.

calefacción y amp; velocidades de enfriamiento

    • El puerto RS485 y el software están instalados y permiten el control remoto de la temperatura del perfil por PC.
    • Para lograr una velocidad de calentamiento máxima, el usuario debe precalentar el horno a la temperatura deseada, luego deslizar el horno a la zona de muestra del tubo.
    • con el fin de lograr el máximo. velocidad de enfriamiento, mueva el horno calentado de la zona caliente a la zona fría

velocidad de calentamiento:

15 ° c / seg (rt - 150 ° c);

10 ° c / seg (150 ° c - 250 ° c);

7 ° c / seg (250 ° c - 350 ° c);

4 ° c / seg (350 ° c - 500 ° c);

3 ° c / seg (350 ° c - 550 ° c);

2 ° c / seg (550 ° c - 650 ° c);
1 ° c / seg (650 ° c - 800 ° c);
0,5 ° c / s (800 ° c - 1000 ° c);

velocidad de enfriamiento:

15 ° c / seg (1000 - 950 ° c);

10 ° c / s (950 ° c - 900 ° c);

7 ° c / s (900 ° c - 850 ° c);

4 ° c / seg (850 ° c - 750 ° c);

2 ° c / seg (750 ° c - 600 ° c);
1,5 ° c / s (600 ° c - 500 ° c);
1 ° c / seg (500 ° c - 400 ° c);
0,5 ° c / s (400 ° c - 300 ° c);

garantía

Garantía limitada de dos años con soporte de por vida.

notas de aplicación

Los hornos de tubo con tubos de cuarzo están diseñados para usarse bajo vacío y baja presión & lt; 0.12 mpa (presión absoluta).
atención: se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión a menos de 3 psi para una operación segura.
el caudal de los gases debe limitarse a & lt; 200 sccm (o 200 ml / min) para reducir los choques térmicos al tubo.
definición de límite de vacío para todos los hornos de tubo de cuarzo: * las presiones de vacío solo se pueden usar de manera segura hasta 1000 ° C.
para operar un sistema de pecvd con un tamaño de tubo mayor a 4 ", siempre mantenga una distancia de más de 1 metro de la fuente de plasma después de que el generador de plasma comience a funcionar.


PECVD Tube Furnace

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1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar según los requisitos de clientes para encontrar la manera más conveniente.

3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte del daño por usted de forma gratuita.


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